用于HVM的EUV光源的一大優(yōu)勢就在于可以在10 kHz或更高的脈沖重復頻率下運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等特點，加之采用Z-pinch?技術，非常適用于計量以及研究等應用。
EQ-10HR是一個完全獨立的系統(tǒng)，可以集成到其他設備中，該系統(tǒng)內部包括無電極Z-pinch光源組件、磁懸浮真空泵子系統(tǒng)、氣體輸送子系統(tǒng)，功率輸送子系統(tǒng)和電子控制設備。EQ-10HR能夠將高達0.5 mJ /脈沖的寬帶EUV傳輸?shù)?pi球面度中，并且將以最高10 kHz的脈沖重復頻率連續(xù)運行。
為了滿足不同應用的使用需求，該產品在使用上進行了如下的優(yōu)化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據(jù)對峰值功率和峰值亮度的不同來調節(jié)EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統(tǒng)外側留有光學接口，方便客戶進行應用程序設備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據(jù)需求選擇手動或者自動菜單。
