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產(chǎn)品中心
10 Watt EUV 光源
EQ-10采用了升級版的無電極Z-pinch?技術(shù)，具有緊湊易用，高可靠性以及低成本等特點非常適用于測量以及研究等應(yīng)用領(lǐng)域。該款光源已經(jīng)在全球交付30多臺，均得到客戶的一致好評，現(xiàn)已經(jīng)成為EUV用戶的主要光源來源。
產(chǎn)品特點
· 獨特的無電極Z-Pinch技術(shù)（專利正在申請中）低電極碎屑/低成本
· 使用Xenon將10W轉(zhuǎn)換為2pi 產(chǎn)品功率充足適用于各種應(yīng)用
· 高達(dá)2 kHz的重復(fù)頻率 可以一周七天，每天24小時連續(xù)工作
· 小等離子體尺寸 直徑小于1mm
· 小型緊湊性價比高 每EUV瓦特的成本低 占地面積小
· 符合CE和SEMI S2-0715標(biāo)準(zhǔn)
典型應(yīng)用
· EUV測量
· EUV抗蝕劑顯影
· 缺陷檢查
· EUV顯微
相關(guān)文件
產(chǎn)品介紹

EQ-10采用了升級版的無電極Z-pinch?技術(shù)，具有緊湊易用，高可靠性以及低成本等特點非常適用于測量以及研究等應(yīng)用領(lǐng)域。該款光源已經(jīng)在全球交付30多臺，均得到客戶的一致好評，現(xiàn)已經(jīng)成為EUV用戶的主要光源來源。



原理介紹

為了滿足不同應(yīng)用的使用需求，該產(chǎn)品在使用上進(jìn)行了如下的優(yōu)化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據(jù)對峰值功率和峰值亮度的不同來調(diào)節(jié)EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統(tǒng)外側(cè)留有光學(xué)接口，方便客戶進(jìn)行應(yīng)用程序設(shè)備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據(jù)需求選擇手動或者自動菜單。



產(chǎn)品型號及主要指標(biāo)
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